การเตรียมฟิล์มบางของซิลิคอนอสัณฐานมีหลายวิธี แผงเซลล์แสงอาทิตย์ . ซึ่งรวมถึงการสปัตเตอร์ปฏิกิริยา, PECVD, LPCVD เป็นต้น ก๊าซตัวตั้งต้นคือ siH4 เจือจางด้วย H2 พื้นผิวส่วนใหญ่เป็นแก้วและแผ่นเหล็กกล้าไร้สนิม และฟิล์มซิลิกอนที่ไม่ใช่เกรดที่ผลิตจากวัสดุดังกล่าวสามารถนำมาใช้เพื่อให้ได้เซลล์แสงอาทิตย์แบบแยกเดี่ยวและเซลล์แสงอาทิตย์แบบเรียงตามกันตามลำดับผ่านกระบวนการเซลล์ต่างๆ

เซลล์แสงอาทิตย์ชนิดอะมอร์ฟัสซิลิกอนมีศักยภาพสูงเนื่องจากประสิทธิภาพการแปลงสูง ต้นทุนต่ำ และน้ำหนักเบา แต่ในขณะเดียวกัน เนื่องจากความเสถียรต่ำ จึงส่งผลโดยตรงต่อการใช้งานจริง หากสามารถแก้ปัญหาความเสถียรและปรับปรุงอัตราการแปลงต่อไปได้ ดังนั้น เซลล์แสงอาทิตย์ชนิดอะมอร์ฟัสซิลิกอนจึงเป็นหนึ่งในผลิตภัณฑ์การพัฒนาหลักของเซลล์แสงอาทิตย์อย่างไม่ต้องสงสัย

เซลล์แสงอาทิตย์ชนิดฟิล์มบางหลายสารประกอบ เพื่อที่จะหาสิ่งทดแทนเซลล์แสงอาทิตย์ชนิดโมโนคริสตัลไลน์ซิลิคอน ผู้คนได้พัฒนาเซลล์แสงอาทิตย์จากวัสดุอื่นนอกเหนือจากเซลล์แสงอาทิตย์ชนิดฟิล์มบางซิลิคอนชนิดโพลีคริสตัลไลน์และอะมอร์ฟัสซิลิกอน ส่วนใหญ่ประกอบด้วยสารประกอบกลุ่มแกลเลียมอาร์เซไนด์ III-V, แคดเมียมซัลไฟด์, แคดเมียมเทลลูไรด์ และแบตเตอรี่ฟิล์มบางคอปเปอร์อินเดียมเซเลไนด์ ในบรรดาแบตเตอรี่ที่กล่าวถึงข้างต้น แม้ว่าประสิทธิภาพของแบตเตอรี่ฟิล์มบางโพลีคริสตัลไลน์แคดเมียมเทลลูไรด์และแคดเมียมซัลไฟด์จะสูงกว่าเซลล์แสงอาทิตย์ชนิดฟิล์มบางซิลิคอนอสัณฐาน แต่ต้นทุนก็ต่ำกว่าแบตเตอรี่ซิลิคอนผลิตภัณฑ์เดียว และง่ายต่อการ ผลิตจำนวนมาก แต่เนื่องจากแคดเมียมมีความเป็นพิษสูง จะทำให้เกิดมลพิษร้ายแรงต่อสิ่งแวดล้อม ดังนั้นจึงไม่เหมาะที่สุดสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์ชนิดผลึกซิลิคอน สารประกอบแกลเลียมอาร์เซไนด์ III-V และแบตเตอรี่ฟิล์มบางของคอปเปอร์อินเดียมเซเลไนด์ได้รับความสนใจอย่างกว้างขวางเนื่องจากประสิทธิภาพการแปลงสูง